压电陶瓷剪切片能提供横向的位移,将多个剪切片用环氧树脂和铜箔粘接成叠堆,能够提供更大的横向位移。
通过对剪切叠堆和Z轴运动的压电陶瓷进行叠加,可形成XY/XZ/YZ/XYZ等多轴移动的叠堆。
多层压电陶瓷剪切叠堆
产品介绍:
压电陶瓷剪切堆栈由多个分立的压电陶瓷剪切芯片通过环氧树脂和铜箔粘结而成。
单个堆栈通过施加正偏压或负偏压而沿着单个横向轴进行正向或负向移动。沿两个横向轴提供位移的定位器将一个压电陶瓷剪切堆栈的上端板与另一个压电陶瓷剪切堆栈的下端板接合。
三轴定位器将两个剪切堆栈与一个纵向移动的分立式压电陶瓷堆栈粘合在一起,且后面这个堆栈提供的位移方向垂直于堆栈的表面(纵向移动的堆栈只沿着正向位移轴提供位移,不能给该堆栈施加反向偏压),它的驱动电压范围也不同于压电陶瓷剪切堆栈。
每个堆栈连接了两根引线,以便进行单独控制,从而准确定位定位器的上表面。