共烧式多层压电陶瓷

共烧压电陶瓷由PZT层堆叠而成，这些叠层由横跨整个叠层表面区域的电极分隔开来。整个堆栈连同叉指电极一起烧结成一个整体结构。这些压电驱动器将电能转换为准确控制的机械位移，非常适合在纳米或微米级中需要快速、准确改变位置的应用。

共烧压电堆栈的隔离和导体设计不同于分立式压电堆栈，与在分立式压电叠堆中使用的绝缘间隙相比，此设计比分立式压电堆栈具有更大的接触面积和活性PZT材料的百分比，这有助于降低内部应力。

这些多层装置非常适用于纳米和微米定位。随着施加到驱动器的电压从0 V上升到驱动电压，压电元件将纵向膨胀。我们的开环压电驱动器提供从4.6 µm至20.0 µm的位移。压电装置(比如这些驱动器)展示出迟滞，因此驱动器的位移不仅仅取决于施加的电压。